วัสดุทาร์เก็ตทองแดงสำหรับการสปัตเตอริง:
ทาร์เก็ตสำหรับสปัตเตอริง คือวัสดุที่ใช้ในกระบวนการสปัตเตอริง ซึ่งเป็นรูปแบบหนึ่งของการเคลือบฟิล์มบางด้วยไอทางกายภาพ (PVD) โดยในกระบวนการนี้ อะตอมหรือโมเลกุลจะถูกดีดออกจากวัสดุทาร์เก็ต แล้วตกลงบนพื้นผิวเป้าหมาย (substrate) เพื่อสร้างเป็นฟิล์มบาง โดยทั่วไปการดีดอะตอมจะเกิดจากการชนของไอออนพลังงานสูง ซึ่งมักใช้ไอออนอาร์กอน
วัสดุทาร์เก็ตทองแดงจึงหมายถึงวัสดุที่ทำจากทองแดง ซึ่งใช้ในการเคลือบฟิล์มทองแดงบางบนพื้นผิวเป้าหมายหลากหลายชนิด
การใช้งาน:
วัสดุทาร์เก็ตทองแดงถูกนำไปใช้ในหลายอุตสาหกรรม เช่น:
- ไมโครอิเล็กทรอนิกส์: ทองแดงกลายเป็นโลหะหลักในการเชื่อมต่อวงจรซิลิคอนประสิทธิภาพสูง เนื่องจากมีคุณสมบัติการนำไฟฟ้ายอดเยี่ยม ฟิล์มทองแดงบางใช้ในการทำเมทัลไลเซชันของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
- การจัดเก็บข้อมูล: ใช้ในการผลิตฮาร์ดดิสก์
- พลังงานแสงอาทิตย์: ทองแดงสามารถใช้ในเซลล์แสงอาทิตย์บางประเภท
- การเคลือบเพื่อความสวยงามและการใช้งาน: ใช้เคลือบพื้นผิวด้วยทองแดงเพื่อให้ได้คุณสมบัติด้านฟังก์ชันหรือรูปลักษณ์
- ออปโตอิเล็กทรอนิกส์: โดยเฉพาะในกระบวนการผลิตเซ็นเซอร์และอุปกรณ์บางประเภท
คุณสมบัติหลัก:
- การนำไฟฟ้า
- มิติและรูปร่างที่แม่นยำ
- ความเรียบของพื้นผิว
- ความตรงแนว
- ความสม่ำเสมอทั่วชิ้น
- การควบคุมขนาดผลึก